精確的金屬管浮子流量計改善了真空鍍膜結(jié)果

上海自儀四廠亞利桑那州圖森市擴展其快速響應流量儀表產(chǎn)品，Alicat Scientific增加了高壓質(zhì)量流量計和相應的高壓金屬管浮子流量計系列。MQ系列儀表和MCQ系列金屬管浮子流量計可在高壓系統(tǒng)中運行，非常高可達320 PSIA（22 bar）。

新產(chǎn)品可確保精確穩(wěn)定的系統(tǒng)性能，傳感器響應速度為10 ms，控制器響應時間小于100 ms。多變量MQ系列流量計和MCQ系列金屬管浮子流量計可測量質(zhì)量流量，體積流量和壓力。因此，可以設置控制器用于質(zhì)量流量的閉環(huán)控制，同時還報告壓力或壓力的閉環(huán)控制，同時還報告質(zhì)量流量。每臺儀器都配有NIST可溯源校準證書，證明了滿量程精度的2％。

儀器預裝了多達98個車載氣體校準裝置。Alicat內(nèi)置的COMPOSER?氣體混合軟件可用于使用標準氣體列表組成多達20種定制混合物。氣體類型的變化幾乎不影響精度，并且自動重新校準滿量程閥門范圍以保持吞吐量范圍。金屬管浮子流量計提供多變量接口顯示，以及每臺儀器上數(shù)據(jù)豐富的串行和模擬連接，可用作獨立設備或響應式集成系統(tǒng)組件。數(shù)字（RS-232，RS-485，Modbus）和模擬（0-5v，0-10v，4-20mA）通信均可定制，以適應各種

非常終用戶應用。Alicat提供NPT，SAE，下行和NeSSi過程連接。閥門類型和孔口尺寸的選擇允許配置產(chǎn)品以獲得非常佳速度和穩(wěn)定性。

Alicat MCE和MCV精確控制氣體流速低至0-0.5 sccm滿量程或高達0-20 slpm滿量程，控制響應時間為50至100毫秒?？焖夙憫獣r間可以大大改善真空鍍膜終端產(chǎn)品，并有助于消除目標中毒。集成的氣動截止閥通常是關閉的，可提供1 x 10-9 atm-sccm / sec的非常大氦氣關閉。

MCE可以替代傳統(tǒng)的MKS 1179A型Mass-Flo?，而MCV則可以取代已停產(chǎn)的MKS 2179A型Mass-Flo?。金屬管浮子流量計采用通用12-30 VDC電源供電，Alicat將匹配9針或15針D-sub連接器上任何預先存在的針腳，便于更換。上海自儀四廠這些裝置可以任何方向安裝，甚至可以倒置安裝，無需重新校準，從而進一步簡化了安裝。