除了上述提到的以外，還有一些鮮為人知的類型的流量計技術(shù)，這些技術(shù)通常為單個應(yīng)用提供解決方案。沒有“非常佳流量計”，這完全取決于應(yīng)用程序以及用戶對設(shè)備的期望。
在本文中，您將了解氣體流量相對較低的測量儀器，例如 ，從幾cc / min到5001000 ln / min。在這一應(yīng)用領(lǐng)域中，非常常見的儀表是帶有熱旁路概念的氣體質(zhì)量流量計。有氣體 質(zhì)量流量計（MFM） 和 質(zhì)量流量控制器（MFC）。非常終，流量計將配備一個控制閥，您可以提供一個確定所產(chǎn)生的氣體流量的設(shè)定值。MFC是這些工具的參考。
測量概念
在熱旁路概念中，大多數(shù)測得的氣體流經(jīng)旁路。在旁路中是一個產(chǎn)生非常小壓降的元件。結(jié)果，少量氣體流經(jīng)傳感器，該傳感器平行于旁路運行。該傳感器測量氣體流量，該氣體流量代表所監(jiān)視氣體的總量。每個儀器都針對特定的氣體和特定的測量范圍而構(gòu)建。質(zhì)量流量計（MFM）和質(zhì)量流量控制器（MFC）的名稱不言而喻：這些儀器測量和調(diào)節(jié)氣體流量，例如以kg / hr為單位。測量值也可以以標(biāo)準(zhǔn)化體積為單位表示，例如ln / min（每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升）或SCFH（每小時標(biāo)準(zhǔn)立方英尺）。在SCFH（每小時標(biāo)準(zhǔn)立方英尺）中，“ S”是指20°C和1個大氣壓，而NCCM（標(biāo)準(zhǔn)立方厘米/分鐘）是在0°C和1個大氣壓的參考條件下表示的。畢竟，氣體的質(zhì)量單位與歸一化體積（密度）之間存在固定的關(guān)系。
基于毛細(xì)管傳感器的MFC 與帶有MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）傳感器的儀器 之間存在區(qū)別 。兩種傳感器技術(shù)都有優(yōu)點和局限性。由于沒有可怕的測量儀器，在此特意避免使用“ cons”一詞。該應(yīng)用程序可以驅(qū)動*示例，例如 保時捷911 是一款*的汽車，但您不應(yīng)在撒哈拉沙漠中使用它。
是毛細(xì)管流量傳感器？
毛細(xì)管傳感器由一根細(xì)鋼管（外徑為0.2至1毫米）組成，并用兩根細(xì)鉑金絲包裹。的鉑絲用作電阻和是惠斯通電橋的一部分。鉑絲的電阻值取決于溫度。這些導(dǎo)線中有電流通過，從而將它們加熱。在零流量時，電阻是相同的，但是當(dāng)流量通過傳感器時，電子設(shè)備會檢測到溫度差。
MFC中的層流元件（LFE）在旁路中配有毛細(xì)管傳感器。該LFE會產(chǎn)生層流行為，就像在傳感器內(nèi)部一樣。LFE意味著通過傳感器的流量與通過旁路的流量之間的關(guān)系在測量范圍內(nèi)幾乎是線性的。由于這種線性關(guān)系，可以用廉價的純凈氣體（如空氣）校準(zhǔn)該MFC并使用已知因素使儀表適合其他異國，爆炸，有毒或易燃?xì)怏w。如果應(yīng)用所謂的K因子，則會有更多不確定性。在知名制造商的用戶手冊中，據(jù)報告指示性誤差還超過2％。諸如粘度，壓力和溫度之類的參數(shù)會影響K因子的準(zhǔn)確性。重要的是要注意這種傳統(tǒng)的校準(zhǔn)方法，該方法會產(chǎn)生不確定性，而這些不確定性在文檔中很少提。
此類MFM / MFC必須使用應(yīng)用中使用的實際氣體進(jìn)行校準(zhǔn)。優(yōu)點是儀器因此更加。對于某些奇特的氣體，可能會產(chǎn)生相關(guān)性，盡管重復(fù)性仍然很低，但準(zhǔn)確性會受到影響。
是MEMS流量傳感器？
基于MEMS的MFM / MFC沒有LFE，而是有規(guī)律的旁路。其功能是確保流過傳感器的總氣體的定義百分比。傳感器的孔徑大得多，因此，例如，壓降相對較低，并且傳感器對污染的敏感性低于毛細(xì)管。MEMS傳感器的靈敏度也高得多，這是因為可以獲得1000：1的調(diào)節(jié)比（毛細(xì)管傳感器的調(diào)節(jié)比是50：1）。然而，MEMS傳感器的非常大優(yōu)點是沒有（可測量的）漂移。漂移是零的緩慢偏移，因此給定流量下的測量值會影響精度。
