國家集成電路微納檢測設備產業(yè)計量測試中心在松江成立

上海自動化儀表三廠10月30日，國家集成電路微納檢測設備產業(yè)計量測試中心在上海松江正式揭牌成立。該中心由同濟大學牽頭，聯合張江實驗室共同籌建，旨在聚焦集成電路微納檢測設備的國產替代計量測試需求，上海自動化儀表三廠提升芯片產業(yè)鏈的自主可控能力與產業(yè)韌性。

　　中心將立足松江，服務輻射長三角地區(qū)，致力于為國產集成電路儀器儀表廠商提供覆蓋“全產業(yè)鏈、全壽命周期、全溯源鏈”并具備前瞻性研究能力的“三全一前”計量技術服務。

　　上海自動化儀表有限公司據了解，集成電路制造對測量精度要求高。以7納米芯片制造為例，需要測量的精度達到約0.1納米，相當于頭發(fā)絲直徑的十萬分之一，而計量精度要求更高，需優(yōu)于0.01納米。在芯片制造過程中，如果計量標準不準確，將直接影響產品合格率。

　　該中心主要致力于解決集成電路領域計量測試技術的自主創(chuàng)新問題。基于量子化光晶格常數技術，中心開發(fā)了新的計量方法和儀器，研制了包括納米級角度標準物質在內的多項國家標準物質，并建立了新的納米計量體系。中心將提供覆蓋全產業(yè)鏈、全壽命周期和全溯源鏈的計量技術服務，同時開展前瞻性研究。中心負責人表示，將著力構建集成電路產業(yè)專用自溯源納米長度計量技術體系。

　　中心的建設得到了多方支持。同濟大學長三角G60科創(chuàng)走廊研究院作為孵化平臺，在項目落地過程中發(fā)揮了重要作用。松江區(qū)相關部門在政策、資金和場地等方面提供了配套支持。

　　上海自動化儀表有限公司目前，該中心產業(yè)化公司籌建工作已同步啟動。未來，中心將圍繞松江區(qū)產業(yè)發(fā)展需求，通過多種合作方式推動技術創(chuàng)新和成果轉化。