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擴(kuò)散硅壓力傳感器的工作原理和特點(diǎn)擴(kuò)散硅壓力傳感器的結(jié)構(gòu)和工作原理發(fā)表時(shí)間:2024-04-25 07:57作者:上海自動(dòng)化儀表四廠(chǎng) 1. 上海自動(dòng)化儀表四廠(chǎng)工作原理:當(dāng)被測(cè)介質(zhì)的壓力作用在敏感膜片上時(shí),使敏感膜的電阻發(fā)生變化。這種變化通過(guò)壓電晶體傳送到放大器,放大后再由ad轉(zhuǎn)換器轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)輸出。由于采用擴(kuò)散硅作為襯底,所以具有高的抗污染性能、小的溫度系數(shù)、良好的線(xiàn)性度和較低的非線(xiàn)性度以及很高的靈敏度。 2. 上海自動(dòng)化儀表四廠(chǎng)結(jié)構(gòu)及特點(diǎn): (1). 測(cè)量范圍寬; (2). 精度高; (3). 量程比大; (4) .穩(wěn)定性好; (5) .靈敏度高; (6) .零點(diǎn)漂移小; (7) .重復(fù)性好; (8) .體積小; (9).安裝使用方便。 (1).測(cè)量范圍寬:從0.001~10mpa; (2).精度高。 |